厦门太星机电有限公司拥有十多年真空行业经验和销售及维修工程师团队组成，公司提供国外及国内厂家生产的真空泵，检漏仪，分子泵，扩散泵，水环真空泵，螺杆真空泵，罗茨泵，真空测量，真空泵油及其备品备件。
散泵是目前获得高真空的、主要的工具之一，通常指油扩散泵。扩散泵是一种次级泵，它需要机械泵作为前级泵。
影响油扩散泵性能的因素如下。
1、油扩散泵的返流。
2、气体分子的反扩散。
3、扩散泵油的裂化分解，一般扩散泵对其工作油的要求是饱和蒸气压以内(室温下0.00000001Pa左右)，受热稳定性好，不易被氧化，分子量大的高沸点的液体，如硅油是扩散泵中比较理想的工作油。
4、泵清洗不干净，污染物质留在泵内并重复循环，影响其真空度。
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通常扩散泵的性能是以极限真空、大反压强、抽气速率以及设置冷阱或低温挡板而定。
1.极限真空
如果对一般油扩散泵的结构进行改进，如减少油蒸气的返流，加分镏装置，合理分配加热功率，改进喷嘴角度设计，加以挡油帽、障板或冷阱、吸附阱等，就能使扩散泵性能大大改善，极限真空可达到更低的压强。油扩散泵工作压力范围是10^-1~10^-6Pa，起始压力正好是机械泵的极限压力，因此，油扩散泵通常要利用机械泵作为前级泵，将真空度抽到10^-1Pa后才能开始工作。
2.大反压强
大反压强是指扩散泵所允许的前置压强大值。如果前级泵所产生的压强高于大反压强，则扩散泵就不能正常工作。
3.抽气速率
扩散泵的抽速可根据气体分子运动理论来推算出来。
4.设置冷阱及低温挡板的原因
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扩散泵系统的压强不稳定的原因，有内部和外部之分。泵外的原因有：①来自橡胶垫圈的气泡；②从障板上滴落下的泵油；③高的前级耐压；④阱除霜；⑤阱内冷冻层的。泵内的原因有：①泵油爆沸或沸腾不稳定；②在导流管外部油的沸腾；③轻气体的低压缩比；④喷咀内的液滴；⑤顶喷咀变冷（蒸汽冷凝）；⑥锅炉附近泄漏，泵体要检漏。
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（1）目前国内生扩散泵的厂家较多，型号、尺寸不统一，大泵越作越大，小泵则很少生产。况且对泵的性能也没有考核指标。行业应对提和质量进行定期检查、组织生产厂家多做改进工作，使用户配套方便。（2）泵在结构方面：要缩小尺寸、降低重量，保证零件的加工精度，可增加级数，提高在4×10-1Pa时的抽气量。给出对几种常用的被抽气体的抽气量。（3）增加附件。如设置挡油帽，过热保护装置（对冷却水水温、水压和泵油温度的在线测和自动保护。可自动切断和复位）。出口压力的监控。（4）规定油量的大值和小值和耗油量（如0.5~0.7 g/h等）。要观察油位，以方便用户及时注油。从观察窗看泵油变质情况以便及时更换。（5）给出合适的前级泵的容量。（6）为了节能加热功率要可调，要快速起动和快速冷却停泵，提高设备的运转率。（7）给出各种被抽气体的性能曲线，好给出对一些气体的压缩比（方便用户选用。（8）用微机控制运行和故障诊断。（9）密封处要选高质量的放气率和透气率小的橡胶圈。（10）给出各种泵的返油率限定值，进一步降低返油率，扩大油扩散泵的用途。油扩散泵的工作压力范围宽（1~10-5Pa以下），它比其它高真空泵的可靠性高，成本低，只有少数部件需要维修，泵内无运动部件，工作中可更换加热器。硅油或聚苯醚的蒸汽压为10-9~10-10Torr，使用合适的挡板或阱在室温状态下可获得10-10Torr或更低的压力。
以上信息由专业从事半导体真空泵系统的厦门太星机电于2024/5/22 7:26:41发布
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