真空设备检漏
如何判断真空系统是否存在漏气,通常采用静态升压法,即把容器抽到一定压强后,关闭阀门将被抽容器与泵隔开,若容器漏气或材料放气,容器中的压强将随时间而上升。用真空计每隔一定时间计量一次容器中的压强,可得出压强/时间曲线。现今的氢氮混合气检漏技术可以检出低至5*10-7mbar/s的泄漏,相当于0。由于容器的漏气与出气情况不同,其曲线也不同
1.直线A
压强不随时间变化,说明系统即不漏气,也不放气。真空度上不去的原因是泵工作不良。
2.直线B
压强期初上升很快,而后上升速度渐渐减慢而趋于平衡,这说明容器没有漏气。真空度上不去的原因主要是放气的影响。因为放气速率随压强的升高和时间的延长而降低,故曲线渐趋向于平衡。
3.直线C
是一斜率为ΔP/Δt的直线。这说明只有漏气而没有放气。
4.曲线D
开始压强上升较快,而后渐渐减慢,后变成斜率为ΔP/Δt的直线。这说明容器即有放气也有漏气。曲线D可以认为是B和C的叠加。如果出现曲线C和D的情况,则判定系统有漏气。
氦气
氦气穿透能力强,且易,对漏点有很好的检出能力,可让细微小洞无处可逃。氦气检漏就是采用氦气来检查电子元器件封装管壳上的小漏洞。因为氦原子的尺寸很小。用氦气穿过小洞而进入到管壳内部,氦气检漏方法能够检测出尺寸很小的小洞,灵敏度可与性检漏方法匹敌,但要比性检漏方法简便。氦气检漏方法:首先把封装好的元器件放入充满氦气的容器中,并加压,让氦气通过小洞而进入管壳中;然后取出,并用压缩空气吹去管壳表面的残留氦气;1g/y,其气体使用成本仅是氦气的1/10到1/20,同时氦气检漏法要增加一些辅助设备,如氦气回收系统等。接着采用质谱仪来检测管壳外表所漏出的氦气。
氢气检漏设备
针对产品进行IP防水检测,可以通过两种仪器来实现,一种是防水测试设备,一种是气密检漏设备,防水测试设备是使用水来对产品进行不同防水等级的测试,来达到检测标准要求,而气密检漏设备是通过气压来模拟水压,实现对产品的密封性能的测试,不会损坏内部产品。另外装液体或气体的容器(液压气瓶,氧气瓶,空调冰箱中的雪种容器等等),要求在容器内外存在压差的情况下,不能有气体或液体漏出。
气密检漏设备检测产品有两种比较直观的产品,一种是使用测试气管直接连接产品的充气孔(产品自带充气孔),再进密性测试,即采用直接检测方法,另一种是将产品放置在仿形模具内(根据产品外形定制),对仿形模具内腔进行充气,然后进密检漏设备。
氢气检漏设备
无论是在漏点定位还是在泄漏测试应用,这种检漏方法已经在各个行业领域内得到了广泛使用。与氦气相比,使用低密度的安全氢气作为检漏用的示踪气体具有很多优势。其价格非常低廉,很容易在各个气体供应商处购得。现今的氢氮混合气检漏技术可以检出低至5*10-7mbar/s的泄漏,相当于0.1g/y,其气体使用成本仅是氦气的1/10到1/20,同时氦气检漏法要增加一些辅助设备,如氦气回收系统等。如真空设备(真空镀膜机,液晶注入机,PVD,半导体外延等等),需要在真空条件下工作,要求在工作时,空气不能漏进工作腔体,否则生产不能进行,或者产生次品,浪费人力物力。
以上信息由专业从事真空箱式氦检漏设备的科仪创新真空于2024/4/26 9:29:57发布
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