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半导体样品的特定部分被水蒸气氧化。监控窗口，半导体清洗设备，设置在氧化室的其中一个室壁中，并设置在能够面对支撑在底座上的半导体样品的位置。监测部设置在氧化室的外部，并可通过监测窗口面对支撑在基座上的半导体样品。以及调节部，用于调节所述基座与所述监视部之间的距离。

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冲水装置控制系统采用本地控制和遥控系统，通过控制箱和红外线遥控器控制整个冲水过程，可远程控制冲水设备的启停。高压带电水冲洗系统不需要清洗液，也不需要停电处理。操作简单、，简化了带电冲洗过程，降低了冲洗成本，实现了对变电站设备和环境的。

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冲洗方式多样，效率更高。

带电水冲洗过程中使用220千伏变电设备带电水冲洗作业技术，将不同类型水处理方法、水冲洗方法进行组合使用，根据冲洗设备类型、现场布置、污秽类型及积污程度等现场实际情况，选择合适的冲洗方法：对大型设备用四交叉组合多回冲洗、中型设备用三交叉冲洗、小型设备用双跟踪冲洗同时组合应用双跟踪两回冲洗、三跟踪一冲三回等，程度提升了冲洗效率及效果。

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活水冲洗操作。

这种操作方法可以结合相关技术，从冲洗遏制安全事故，从而确保电网设备和人员的安全。冲洗前对纯水电导率、水压、水流量、喷嘴选择等进行控制，针对不同的设备选择的冲洗方式，使冲洗过程，冲洗效果明显。确保安全、快速、的作业，提高作业安全指标。

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操作简单，速度快，成本低。

本作业工法仅需采用纯水处理及冲洗装置系统设备，配合人力每组作业只需6~7人可完成带电水冲洗作业，解决了以往设备停电清扫的需人力资源大、停电周期长、经济损失大、人式清洗死角多、不能保证清洗质量、劳动强度大等技术难题，本系统实现带电水冲洗，实用性强、操作简单、工作、减轻劳动强度、降低冲洗成本、应用范围广、适应性强。

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腐蚀设备，降低设备的使用寿命。

电力系统设备运行的外部环境复杂，污垢中所含的酸、碱、盐等电解质在潮湿的环境中容易发生各种电化学反应，对设备造成腐蚀和损坏。降低精密设备工作的稳定性。

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带电清扫动力设备。

经济效益分析。

1。延长设备使用寿命。

设备充电清洗后，去除设备表面和深层的污染物，可避免因高温而缩短设备寿命。同时，也可避免因污染对设备的腐蚀而缩短设备寿命，延长设备使用寿命，降低企业成本。

2。免因停电造成的经济损失。

带电清洗方式可以在设备不停电的情况下进行清洗和维护，避免了企业因停电检修而停产造成的损失。同时避免了传统方法对设备造成的损坏。