一般干式真空泵的同步齿轮，在装配需要满足以上质量外，有些干式真空泵还有一些特殊的要求，比如说爱德华罗茨真空泵，它的两个转子互为共扼的型线架构，同时转子之间也是不相互接触的，因此它的所以动力来源都是这双同步齿轮的带动。
因此，保证转子的精度啮合外，齿轮精度啮合一样重要，这对我们真空泵维修以及新泵组装带来一定难度。这就要求我们在把转子啮合装配好后，应当把具体的位置先固定下来，在装配时h加以标识，这样才能更为准备清晰的把螺钉锁紧以及保证定位销的安装到位，只有这样才能保证齿轮之间，转子之间的啮合的精度，不然会因为齿轮以及转子间隙的不平衡导致泵浦异常运作。
技术
Edwards 的 Stokes Microvac 泵是一款 独立的油封滑阀泵，其低转速、大间隙的设计 可实现更长的使用寿命。一种新的密封阀设计， 改进了 O 形圈密封区域，全封闭的风冷却式电机确保 噪音更低、耗电更少，并且为客户延长了维修时间间隔。较低 转速可减少活塞和滑动部件的损耗，从而延长 使用寿命，并增强处理微粒应用的能力。
一体化的 油分配系统不再需要外部管道， 通过的设计实现无泄漏运行。泵活塞通过一个偏心件安装在主传动轴上， 并通过两个自由摆动的铰接杆 进行支撑。活塞旋转时，空气通过活塞滑块进入泵内。当 活塞达到顶部中央位置时，进气口关闭， 捕获的空气随后被压缩，并随着活塞的继续旋转通过排气阀排放， 然后从舱室的排气出口排出。
应用
性能可以说明一切。Stokes Microvac 一直受到诸多加工应用的青睐，包括要求 严苛的重型应用。
汽车
涂层
化学加工
一般应用
热处理
泄漏检测
冶金
熔炼
PET 加工
制药
变压器 干燥
请联系 Edwards，探讨 如何利用我们种类丰富的真空解决方案满足您的需求、提高生产效率以及 减少成本。
有许多消费者可能是真空泵在使用时出现了一些小故障，为了节约成本就会拿去维修，也不管找到的维修商家是否有能力修好该真空泵，只一味的注重价格。真空泵要处于通风位置或者室内装有降温装置也可以，原因也是一样的，只是为了让真空泵的散热性能更好，尽可能的降低真空泵的工作温度。耗材及时更换。其中的又是：油雾分离器（排气滤芯）和油。这两种耗材一定要及时的更换。排气过滤器如果一旦出现报废或者其他质量问题时第yi时间更换！油出现了颜色变色、沉淀物增多、开始出现乳化等现象时不能仅仅停留在加油的保养，要全部更换真空泵油
适用于 Applied Materials 制程平台的 IPUP
IPUP2：紧凑型低能量的 180m3/h 干泵，用于晶圆加工和其他清洁工作应用。它能够 以低能耗快速抽空负载锁定舱室。
IPUP2 小巧轻便，适用于负载锁定 和清洁应用。其低振动和低噪声级的优点使其适合于 在机台上使用或安装在工厂的夹心层中，从而有助于节省宝贵的 工厂地面空间，同时程序地提高泵送性能。环保模式可在 空闲期间降低设备使用率，从而降低使用成本， 有助于保护环境。
适合在 Applied Materials 的制程平台上使用， 可提高处理能力，同时减少能耗。
3 万亿次循环 MTBF
与原始 IPUP? 相比，速度 提高 50%，能耗降低 70%
提供适用于现有 IPUP? 的 插入式替换部件
EM 系列小型油封旋转式叶片电磁真空泵
EM 系列泵是结实耐用的机械油封泵，抽速为 0.7 到 28 m3/hr，具体取决于型号和级数。这些泵结构紧凑，使用时非常安静，具备先进的润滑回路，可靠性高，配有各种附件，可以满足您的特定应用需求。
特性和优点
E2M0.7 的噪声级非常低，仅为 43dB(A)
该泵设计合理，可进行可靠的长期运行
紧凑的尺寸
低能耗
较低的工作温度可将设备上的热负荷降到程度
该泵为独立式装置
电机完全封闭，由电机冷却风扇进行冷却并由热过载设备保护
通过全高度 O 形圈密封的油品目视镜可方便地检查油位和相关情况
气镇阀具有水蒸汽输送能力
经过检验，符合 EN61010、CSA、C22.2 和 UL61010 标准
真空泵维修不仅是单纯的零件更换，还涉及真空泵转子，叶片，轴位等精度高，难度大的修复工序，对于零件安装也是真空泵维修技术范围之内，这些因素都决定着真空泵维修后真空泵能否按之前的技术进行运转，所以选择好的真空泵维修厂家至关重要。
特性和优点
可靠性
可靠且稳定的制程 - 即使是在高气体负荷下也可提供有效的润滑
稳定
无制程污染 - 油和空气反吸保护
性能
长期无故障 - 传动轴杆上安装有工业级滚柱轴承
再保证
安心 - 经过多年尝试、测试，已经成为工业标准
可靠且稳定 - 高真空性能
以上信息由专业从事爱德华真空泵维修中心的东欧真空于2024/5/18 11:35:51发布
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