气体质量流量控制器应用领域
气体质量流量控制器用于对气体的质量流量进行精密的测量和控制。其广泛应用于半导体和集成电路工艺、特种材料学科、化学工业、石油工业、环保和真空等多种领域的科研和生产并在其中起着重要的作用。典型的应用场合包括微电子工艺设备，如扩散、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入；以及真空镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、气体取样、毛细管测量、气象色谱仪及其他分析仪器。
气体质量流量控制器使用注意？
1 加装过滤器
使用气体必须纯净干燥，切忌粉尘、液体和油污。必要时加装过滤器，如果流量计出口接有液体源瓶，应在流量计出口加装单向阀，防止液体回流损坏流量计。
2 使用腐蚀性气体
流量计通道采用的材料为：SUS316L(00Cr17Ni14Mo2),SUS417J1（00Cr30Mo2）, 氟橡胶等耐蚀材料。在用户系统无汽水、低泄露、勤清洗、使用得当的条件下，也可以用于控制一般的腐蚀性气体。其他使用强腐蚀性气体和溶剂气体时，应在定货时声明，使用特殊腐蚀性气体，所有密封材料都要作相应改变。
3 安装位置问题
本控制器安装时建议保持安装面水平，但对位置并不特别敏感，可以任意位置安装，非水平位置安装时若发现零点偏移，可以调整零点后在工作。
4 阀口密封问题
质量流量控制器的电磁阀是调节阀, 不是截止阀, 不能当截止阀使用, 用户应另配截止阀。特别是用户使用腐蚀性气体，通常应该在质量流量控制器进出气口各加一个截止阀，以保证工作安全。长期工作后, 如果控制器阀口的漏气率在2%F.S以内, 是属于正常情况。如果漏气大于满量程的2%, 则应进行维修。
5 标定与不同气体的换算
本流量质量控制器出厂通常用氮气(N2)标定。如果要求用使用气体标定，需要在订货时与销售人员特别申明。用氮气标定的流量控制器用户使用其它气体时，可以通过附录的转换系数进行换算。
压力对于气体质量流量控制器影响有哪些？
市面上的热式气体质量流量控制器的耐压主要分为：10Bar、50Bar和100Bar。10Bar的流量控制器主要为差压式(也称节流式) 流量计是基于流体流动的节流原理，利用流体流经节流装置时产生的压力差而实现流量测量的。50Bar和100Bar的流量控制器主要为热式流量计，热式流量计采用热扩散原理，热扩散技术是一种在苛刻条件下性能优良、可靠性高的技术。热式流量计有两个温度传感器被置于介质中时，其中一个传感器被加热到环境温度以上的温度，另一个温度传感器用于感应介质温度。
以上信息由专业从事质量流量价格的晓韬科技于2024/5/16 8:32:38发布
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