LED 外延片工艺流程如下:
衬底 - 结构设计- 缓冲层生长- N型GaN 层生长- 多量i子阱发光层生- P 型GaN 层生长- 退火- 检测(光荧光、X 射线) - 外延片;
外延片- 设计、加工掩模版- 光刻- 离子刻蚀- N 型电极(镀膜、退火、刻蚀) - P 型电极(镀膜、退火、刻蚀) - 划片- 芯片分检、分级
具体介绍如下:
固定:将单晶硅棒固定在加工台上。
切片:将单晶硅棒切成具有精i确几何尺寸的薄硅片。此过程中产生的硅粉采用水淋,产生废水和硅渣。
退火:双工位热氧化炉经氮气吹扫后,用红外加热至300~500℃,硅片表面和氧气发生反应,使硅片表面形成二氧化硅保护层。
倒角:将退火的硅片进行修整成圆弧形,防止硅片边缘破i裂及晶格缺陷产生,增加磊晶层及光阻层的平坦度。此过程中产生的硅粉采用水淋,产生废水和硅渣。
分档检测:为保证硅片的规格和质量,对其进行检测。此处会产生废品。
研磨:用磨片i剂除去切片和轮磨所造的锯痕及表面损伤层,有效改善单晶硅片的曲度、平坦度与平行度,达到一个抛光过程可以处理的规格。此过程产生废磨片i剂。
清洗:通过有机i溶剂的溶解作用,结合超声波清洗技术去除硅片表面的有机杂质。此工序产生有机废气和废有机i溶剂。
RCA清洗:通过多道清洗去除硅片表面的颗粒物质和金属离子。
LED芯片为什么要分成不同尺寸?LED芯片大小根据功率可分为小功率芯片、中功率芯片和大功率芯片。根据客户要求可分为单管级、数码级、点阵级以及装饰照明等类别。
至于芯片的具体尺寸大小是根据不同芯片生产厂家的实际生产水平而定,没有具体的要求。
只要工艺过关,芯片小可提高单位产出并降低成本,光电性能并不会发生根本变化。
芯片的使用电流实际上与流过芯片的电流密度有关,芯片小使用电流小,芯片大使用电流大,它们的单位电流密度基本差不多。
考虑到散热是大电流下的主要问题,所以它的发光效率比小电流低。另一方面,由于面积增大,芯片的体电阻会降低,所以正向导通电压会有所下降。
浅析LED电子显示屏技术发展升级方向LED电子显示屏不断发展,虽LED显示屏厂家众多,但技术升级方向则大概是一致的,未来的深圳LED显示屏趋于薄型化、高功率、LED显示屏大屏幕拼接技术越来越成熟等。随着LED显示屏发展时间增长,应用领域越来越广,人们对LED显示屏的认识、认知度也随之越深,之前没了解问题的也逐渐展显出来,从技术方面来讲,目前我国LED显示屏技术主要存在以下问题:
一是亮度不足问题。LED电子显示屏的主要优势是对多变复杂的户外环境的适应力,户外环境的特点要求LED显示屏要在晴天、阴天、雨雪天气、远距离、多视角上都能保证足够的亮度来传递信息,因此亮度尤为重要,而由于LED亮度不足,使得目前LED在照明行业中只能充当配角,主要用于装饰,这对于上万颗LED的综合运用更是一项巨大的挑战。
二是LED色差问题。单个LED的应用,基本上不存在色差问题,但将众多LED进行综合运用的话,色差问题就会凸现出来。虽然已有技术来改善此问题,但由于国内技术和生产水平所限,同一同一批次LED中仍然存在差异,而且这种差异很难逃脱肉眼的挑剔,从而难以保证LED显示屏的色彩还原性和逼真性。
以上信息由专业从事LED外延片经销商的杰生半导体于2024/5/15 8:41:49发布
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