该装置由汽化炉、分解炉、重合室这3个部分组成，在重合室中放置对象物品，在汽化炉中放置Parylene (粉体)。
在装置内进行减压操作后，升高汽化炉的温度（120~180℃），使Parylene升华。 通过真空泵将该气体引导至蒸汽粘合室，通过高温（650~700℃）分解炉后，生成热分解单体。该单体在室温状态下的重合室内与对象物品相接触，其含有的热量被传导后在对象物品的表面进行聚合，形成高分子量的聚对二树脂膜。
真空镀膜是指在高真空的条件下加热金属或非金属材料，使其蒸发并凝结于镀件（金属、半导体或绝缘体）表面而形成薄膜的一种方法。例如，真空镀铝、真空镀铬等。Parylene HT（SCS）该材料具有更低的介电常数(即透波性能好)、好的稳固性和防水、防霉、防盐雾性能.短期耐温可达450摄氏度,长期耐温可达350摄氏度,并具有强的抗紫外线能力.更适合作为高频微波器件的防护材料。
Parylene真空镀膜以其良好的耐腐蚀、耐，、 低阻滞性、低摩擦系数及生物相容性，在国际临床运用的生物的表面涂层上，将逐步取代TiNi（镍钛）合金涂层而被列为*材料。如骨钉、探针、针头、临时手术器械、导尿管、制动器及耳蜗植入器，心脏起搏器、脑电极、植入式传感器、射频、血液分析传感器和高频手术刀等微型电子。
原子层沉积是在一个加热反应器中的衬底上连续引入至少两种气相前驱体物种，化学吸附的过程直至表面饱和时就自动终止，适当的过程温度阻碍了分子在表面的物理吸附。
目前可以沉积的材料包括：氧化物，氮化物，氟化物，金属，碳化物，复合结构，硫化物，纳米薄层等。 中空纳米管，隧道势垒层，光电电池性能的提高，纳米孔道尺寸的控制，高高宽比纳米图形，微机电系统（MEMS）的反静态阻力涂层和疏水涂层的种子层，纳米晶体，ZnSe涂层，纳米结构，中空纳米碗，存储硅点涂层，纳米颗粒的涂层，纳米孔内部的涂层，纳米线的涂层。
以上信息由专业从事弹簧派瑞林镀膜订做的菱威纳米于2024/5/15 11:40:19发布
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