真空设备检漏
一个真空系统，经相当长时间抽气之后，仍然达不到预期的真空度，可能的原因有:抽气情况不良，即抽气系统本身的问题。放气，即真空系统或容器内部存在气体或气源。漏气，即真空系统或被抽容器存在漏孔或缝隙。例如：客户可以先使用压降法检查是否存在泄漏，之后再使用氢气检漏仪查找出泄漏位置。至于漏气是检漏技术所要解决的问题，即准确检出漏孔并加以修补。常规检漏内容包括:用适当的方法判断真空系统中漏气问题是否存在。确定漏气率。找出泄漏部位，以便修补堵漏。
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氦气
氦气穿透能力强，且易，对漏点有很好的检出能力，可让细微小洞无处可逃。氦气检漏就是采用氦气来检查电子元器件封装管壳上的小漏洞。因为氦原子的尺寸很小。世界领1先水进的声学技术真空打检机/真空检漏机当容器经过探头时，探头在容器顶部施加一个“非接触式”的敲击动作，使容器顶部发出声音，不同真空度的容器会发出不同的声音，先进的声学技术根据声音来判断容器是否发生泄漏。用氦气穿过小洞而进入到管壳内部，氦气检漏方法能够检测出尺寸很小的小洞，灵敏度可与性检漏方法匹敌，但要比性检漏方法简便。氦气检漏方法：首先把封装好的元器件放入充满氦气的容器中，并加压，让氦气通过小洞而进入管壳中；然后取出，并用压缩空气吹去管壳表面的残留氦气；接着采用质谱仪来检测管壳外表所漏出的氦气。
氢气纯度分析仪
可实时监测氢气、CO2的纯度。气体置换时主要通过气体纯度监测装置的样气进口来监控气体纯度；量程气进口只在置换时用，可实时调看供氢纯度或供CO2纯度。参比空气进口为调试时用。纯度仪回气排空
工作原理：
仪器由特殊设计的风机，压差交送器及压差计组成，实际则是风机产生的压差，但由于此压差值与气体的密度有关，而气体密度又直接与气体的成分成比例，故只要测出风机压差就等于测出了气体密度，实际上两只压差计是直接按密度和纯度标注的。
以上信息由专业从事真空箱氦测漏系统的科仪创新真空于2024/4/19 15:18:10发布
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