半导体工业用的气体统称电子气体。按其门类可分为纯气，高纯气和半导体特殊材料气体三大类。特殊材料气体主要用于外延，掺杂和蚀刻工艺；高纯气体主要用作稀释气和运载气。电子气体是特种气体的一个重要分支。电子气体按纯度等级和使用场合，可分为电子级，LSI（大规模集成电路）级，VLSI（超大规模集成电路)级和ULSI(特大规模集成电路）级。
近几年来，智研数据研究中心随着我国超大规模集成电路、平板显示器、光伏发电等产业的迅速发展，电子气体市场需求量明显增长，电子特种气体的国产化已是大势所趋。据了解，我国在国产化方面取得可喜进展：国产高纯氨改变了国外气体公司垄断市场的格局，高纯四氟化碳“有价无货”时代也宣告结束，高纯已成功打开。
电子气体主要包括：、、乙、化氢、硒化氢、、四氟化碳、化三氢、、三氯化硼、三氟甲烷、三氟化氮、、六、六氟化钨、六氟化硫、、磷烷、、、气、氨气、电子级等.
其中六氟化硫、电子级、、磷烷使用较多。
氙气,气,目前，国内共有特种气体生产企业150余家，多数企业生产规模较小。跨国企业已经在国内投资设立了众多合资或独资的气体公司，占国内销售气体产品市场份额的70%左右。外资通过收购、新设等方式建立气体公司，占据着行业主导地位。2010年，德国德林公司、法国液化空气集团、美国普莱克斯集团等设立的独资和合资企业以32.38%的企业数量占据着国内特种气体市场65.90%的销售市场和83.08%的利润市场。中国气体行业的竞争实质上是国际气体行业巨头与国内民族气体工业企业的竞争。
特种气体其中主要有：甲烷、乙烯、正戊烷、正丁烯、正丁烷、异戊烷、异丁烯、异丁烷、、、一氧化氮、、一氟甲等。
高纯氧化铝能有效提高PTFE的耐电弧烧蚀性能。
添加无机填料能有效的提高喷口材料耐电弧烧蚀性能。当填料种类不同时，复合PTFE的电弧烧蚀量依次为：
复合MoS2的PTFE烧蚀量>复合三氧化二铝的PTFE烧蚀量>复合BN的PTFE烧蚀量。
高纯氧化铝的粒径范围是在5-10um，纯度为99.9999%为好。
高纯氧化铝还能提高PTFE的耐高温性能，耐磨性能。
高纯气厂家分享气症状及防护
气本身无毒,但在高浓度时有窒息作用。当空气中氧气浓度高于33%时,即氧气浓度比平时减少 2/3以下时,就有窒息的危险。当氧气浓度超过50% 时,出现严状,浓度达75%以上时,能在数分钟内。
气症状表现为,初出现呼吸加快,注意力减退,肌肉运动失调,继而出现判断力下降,失去所有感觉,情绪不稳,全身疲乏,进而出现恶心、呕吐、衰弱、意识丧失、痊孪、昏睡,以致。液态溅入眼内可引起,触及皮肤可引起。气可用玻璃瓶或钢瓶贮装。在贮运过程中轻装轻卸,严防碰损,防止高温。气没有腐蚀性,在常温下可使用碳钢、不锈钢、铜、铜合金、等通用金属材料及一般的塑性材料和弹性材料。在低温下常用聚四氟乙烯和聚三氟氯化乙烯聚合体来作垫圈、隔膜等
以上信息由专业从事液化甲烷的中原海于2024/5/21 13:08:09发布
转载请注明来源：http://www.zhizhuke.cn/qyzx/hbzyqt-2756574988.html
