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分子泵的电机转子叶片务必具备与气体分子速率相仿的角速度。具备那样的高速运行才可以使气体分子与动叶片相碰撞后更改任意透射的特点而作定向运动。
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岛津TMP-203M磁悬浮涡轮分子泵进气法兰口VG100/ICF152/ISO100B/ISO100C，出气法兰口KF25，抽速可达到190 L/s，转速为50000 rpm
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真空泵可以抽到的压力的极限数值。真空泵的极限压力和抽气量是真空泵的重要参数，极限压力越低，真空泵制造真空环境的性能越高。
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分子泵广泛应用于高能加速设备、等离子体物理空间研究、原子束分子束系统、表面物理和分析仪器以及电子元器件制造等涉及真空技术的半导体产业、电子信息产业、航空航天工业及科研事业等领域
以上信息由专业从事岛津二手泵TMP802-LM-SER保养的潽拓光电于2024/5/17 13:12:19发布
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