广州潽拓——{精},分子泵
EDWARDS EPX180L 半导体干式真空泵 EPX180L维修
爱德华EPX 180真空干泵
Edwards EPX 系列支持清洁和轻 型半导体加工应用,如灰化/剥离和注入端点 站应用。EPX 系列以极轻、的 封装提供工具上泵送功能,可实现异常清洁的真空。EPX 泵 采用已获zhuanli的独特单轴再生 Holweck® 分级机构,能够从大气压抽空到小于 7 x 10-7Torr 的极限压力。EPX 泵能够以模块化组件 提供增强的性能,既可集成到制程工具,可以远程安装。重量43.5KG。
潽拓——爱德华分子泵STP1606保养,分子泵
爱德华IPX100真空泵维修 BOC EDWARDS IPX100
分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子,使之获得定向速度,从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。这种泵具体可分为:
1)牵引分子泵 气体分子与高速运动的转子相碰撞而获得动量,被驱送到泵的出口。
2)涡轮分子泵 靠高速旋转的动叶片和静止的定叶片相互配合来实现抽气的。这种泵通常在分子流状态下工作。
3)复合分子泵 它是由涡轮式和牵引式两种分子泵串联组合起来的一种复合型的分子真空泵。
STP-iXR系列STP-iXR1606、STP-iXR1606C、STP-iXR2206、STP-iXR3006、STP-iXA3305C、STP-iXA3305CP、STP-iXA3305CV、STP-iXA3306C、STP-iXR3306潽拓——爱德华分子泵STP1606保养,分子泵
Edwards next85h cf63 nw16 80w 涡轮增压泵
概述:爱德华Edwards nEXT轮分子泵是一种带有复合牵引级和机载式控制器的混合轴承涡轮分子泵,抽速的范围为 47 ls-1 至 400 ls-1。它们全部使用永磁上轴承,能够消除转子顶部的碳氢化合物,同时使用油润滑下轴承,可实现可靠的高速操作。
广州潽拓光电有限公司维修爱德华全系列分子泵,Edwards爱德华涡轮分子泵nEXT85、nEXT240、nEXT300、nEXT400型号齐全。以上信息由专业从事爱德华分子泵STP1606保养的潽拓光电于2024/5/8 9:20:10发布
转载请注明来源:http://www.zhizhuke.cn/qyzx/gzptgd-2748917484.html