潽拓——{精},分子泵
广州潽拓光电——二手TURBOVAC450 i/iX 莱宝真空泵半磁浮分子泵维修保养
Leybold turbovac 450i/iX 分子泵莱宝真空生产的涡轮分子泵能够获得洁净的高真空和超高真空,具有操作简单,可靠性高等特点。与性能良好的前级泵组合后,可以实现低于10-10mbar(0.75 x 10-10 Torr)的压力。TURBOVAC 和 TURBOVAC MAG分子泵成功应用于许多场合。工作原理涡轮分子泵转子是一个带叶片的涡轮,快速旋转的叶片将动量传输给气体分子,将起初无方向性的热运动变成有定向运动。
莱宝真空生产的涡轮分子泵能够获得洁净的高真空和超高真空,具有操作简单,可靠性高等特点。与性能良好的前级泵组合后,可以实现低于10-10mbar(0.75 x 10-10 Torr)的压力。
潽拓——{精},分子泵
广州潽拓,EPX180L 半导体干式真空泵 EPX180L维修保养
主要特性和优势
占地面积小且重量轻 - 作为可用的 工具上泵之一,EPX 显著节省了 占地面积。铝制构造使其重量轻巧,增加了安装 选项。EPX 可以直接安装到工具上,从而节省了前级管道和 安装成本,如果需要也可远程使用。
受zhuanli保护的独特泵机构 - EPX 可以从大气压抽空到 UHV 级基准压力并可在所有入口压力下连续运转。
超清洁机构 - 传统的高真空轴承使用油脂润滑,这可能成为制程 工具中污染源。EPX 泵没有高真空轴承油脂,并且不存在 任何其他的潜在污染源。
非常可靠 - EPX 具有大约 13 年的 MTBFp (SEMI E10),通常 每 5 年维修一次,zui大程度地延长了泵的 使用寿命。
运转时的噪声低至 56 dB(A),可在洁净室内实现低噪声。
潽拓——爱德华分子泵E1M175S维修,分子泵
爱德华Edwards复合涡轮分子泵Ext75dx24VDC,二手分子泵维修保养
爱德华Edwards复合涡轮分子泵Ext75dx24VDCEdwards EXT75DX涡轮分子泵
上轴承为性磁悬浮轴承:无需清洁、振动小、磨损低 配有手动放气阀(可选配电磁阀,用于全自动放气)Holweck拖曳分级技术,实现高吞吐量和高前级压力差带有吹扫口,提供制程气体稀释,以保护电机和下轴承
以上信息由专业从事爱德华分子泵E1M175S维修的潽拓光电于2024/5/22 12:36:54发布
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