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在纯粹涡轮分子泵的情况下,由于其分子流,需要的前级真空大约为为 5~10^-2mbar。所以需要前级泵来预抽,如果不预抽的话,直接启动分子泵, 由于形成的压缩比太大容易把分子泵叶片损坏,这就是为什么分子泵需要前级泵的主要原因。
隔膜泵作为前级泵的优势
1.外观小巧精致,重量小;
2.表面光滑容易清洁;
3.运行异常安静且振动低;
4.根据客户需要,干式隔膜泵可供选择的极限真空和抽气速度;
5.隔膜寿命长,高弹性的纤维增强型FKM隔膜(化学隔膜泵,耐腐蚀的PTFE三明治夹层结构隔膜);
6.内部气路连接件漏率低,长久运行依然能保持优异的真空性能。
螺杆泵作为前级泵的优势
1.无油;
2.无易损件;
3.无磨损;
4.抽速大可达10 m3/h,极限真空低至0.005 mbar;
5.一键启动,长期7×24 h稳定运行,维护成本低,无烦恼。
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市场主要磁悬浮分子泵生产商包括真空、Atlas(Edwards&Leybold)、大阪真空机器制造所、和等,按收入计,2021年大厂商占有大约%的市场份额。从产品泵速方面来看,低于1500升/秒占有重要地位,按收入计,2021年市场份额为%,预计2028年份额将达到%。同时就应用来看,半导体行业在2028年份额大约是%,未来几年CAGR大约为%。
根据不同产品泵速,磁悬浮分子泵细分为:
低于1500升/秒
1500到3000升/秒
高于3000升/秒
根据不同应用,本文重点关注以下领域:
半导体行业
光伏行业
镀膜行业
其他
涡轮分子泵的工作特性主要表现在以下几个方面:
(1)抽速与转速的关系抽速与转速之间的关系大致为S(4-67)。其中:g是由几何形状决定的常数;u是活动刀片的转速。随着速度的增加,泵送速度比直线略慢。这可以通过在抽速较高时对进气管电导率的限制来解释。根据(4-66),随着S1的增加,S将偏离直线。
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涡轮分子泵的工作特性主要表现在以下几个方面:压缩比与前一阶段压力之间的关系泵选择机械泵作为前级泵。当当前级压力满足一定要求时,分子泵稳定工作,减压比保持恒定。如图464所示,当当前级压力升至1Pa时,子压缩比开始降低,而当当前级压力升至数十帕斯卡时,压缩比急剧下降,分子泵无法正常工作。
抽速与气体类型之间的关系。所示的关系是,该变化比直线稍慢。这是因为,在旋转速度下,P较大的气体具有较大的速度比,因此叶片的Hoe系数较大,但是它们在进气管中的电导率是由于增加和减少。涡轮分子泵是利用高速旋转的动叶轮将动量传给气体分子,使气体产生定向流动而抽气的真空泵。
涡轮分子泵的优点是启动快,能抗各种射线的照射,耐大气冲击,无气体存储和解吸效应,无油蒸气污染或污染很少,能获得清洁的超高真空。涡轮分子泵广泛用于高能、可控热核反应装置、重粒子以及真空镀膜等需要获得高真空度制造工艺中。
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以上信息由专业从事爱发科涡轮分子泵技术支持的潽拓光电于2024/5/10 12:41:05发布
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