使用方法
该设备操作简单，易于上手，具体操作如下：
一、曝光前准备工作
1、硅片处理：确保待曝光硅片经过匀胶处理，表面干净平整，没有明显的污渍或破损。
2、选择光刻板：根据项目需要，选择合适尺寸的光刻板，本设备兼容4英寸、5英寸或6英寸。
3、设备检查：仔细检查设备，确保所有部件处于正常工作状态，确保操作环境良好。
二、曝光操作步骤
1、安装硅片：将待曝光硅片平放在设备的载台上，确保位置准确。
2、放置光刻板：将光刻板平放在硅片上方，如果使用菲林掩膜，需要在其上方放置透明玻璃以保持平稳。
3、设定曝光参数：使用控制面板设置曝光时间和强度，根据具体需求进行调整。
1、简要介绍
PDMS芯片加工平台旨在为PDMS芯片制备提供一套gao效、quan面的解决方案。该平台集成了电子秤、PDMS芯片浇筑器、烘箱、PDMS芯片打孔器、PDMS芯片切割器、PDMS芯片对准器以及PDMS等离子键合机等PDMS芯片加工设备。电子秤确保PDMS材料的jing确配比，为芯片制备提供了可靠的基础。PDMS浇筑器以其zhuan业的设计，使PDMS材料均匀浇筑于模具上，为芯片成型提供了支撑。烘箱提供稳定的温度控制，确保PDMS材料的充分固化。PDMS打孔器和切割器保证了jing准的孔洞和结构制作，提供了更高的加工精度。PDMS对准器则实现了多层结构的jing确对准，增强了制作多层PDMS芯片的能力。而等离子键合机则实现PDMS了的牢固粘合。加工平台的紧凑设计使得普通实验室也可轻松部署，有助于客户快速实现芯片制备，为微流控技术的研究和应用提供了便捷而强大的支持。
2、平台组成2.1 电子秤
2.2 脱泡器
材质：PC材料隔板直径：230mmyouzhi硅胶O型密封圈可维持高真空
2.3 PDMS浇筑器
材质：铝合金真空吸附硅片规格：适合4寸及4寸以下SU8模具或纯硅模具浇筑
2.4 烘箱
温度范围：10℃~300℃温度分辨率：0.1℃温度波动：±0.2℃内胆材料：不锈钢内部尺寸：35x35x35cm（长x深x高）外部尺寸：46x56x64cm（长x深x高）电源：220V功率：0.8KW2.5 PDMS芯片打孔器介绍PDMS芯片打孔器，借鉴了台钻的机械原理，并对he心结构进行了优化，使得该打孔设备在操作过程中表现更为稳定。它适用于制备各种软质微流控芯片（如PDMS芯片、硅胶芯片等）的进样孔。可通过限位螺栓调整所需孔深度（范围为0-20.0毫米），可更换不同内径针管（范围直径0.41-9.0毫米）控制进样孔尺寸。
SU8光刻机的价格因型号、配置和供应商而异。一般来说，价格在几千到几十万美元之间。一些的SU8光刻机价格可能超过百万美元。需要注意的是，光刻机的价格不仅仅是机器本身的成本，还包括安装、调试、培训和维护等费用。此外，光刻机的价格还会受到汇率、关税和市场需求等因素的影响。因此，如果您需要了解具体的SU8光刻机价格，建议您联系相关的供应商或销售商进行咨询。
以上信息由专业从事SU8光刻机优点的顶旭于2024/5/24 5:39:06发布
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