真空泵维修作为真空泵设备提升泵浦性能的重要的一种修复工序,其中零件之间的修复配合装配尤为关键,经测量,根据零部件的损坏、磨损程度的不同,可对机械真空泵的腔体、转子、旋片、端盖板等零部件进行铲刮研磨和修配,相互修正调整。
nXDS 干式涡旋泵
Edwards nXDS 具备出色的抽排能力、极高的真空性能和进的设计特性,性能居同类产品。
nXDS 泵在传统 XDS 泵的基础上进行改进,提高了抽取速度,降低了极限压力、功耗和噪音 - 噪音只有其他泵的二十分之一。气镇允许泵送冷凝性蒸汽,包括水、溶剂、稀酸和碱。nXDS 泵还采用了的端部密封技术,显著延长了端部密封更换的时间间隔。具有自动电压输入感知功能的集成变频器驱动提供整体优化的泵送性能。
nXDS 泵可完全进行现场维修。其智能控制功能和长达五年的维修间隔带来较低的拥有成本,使其成为应用于当今进技术的小型干泵的。
工作环境更好,环境影响低:
安静运转
操作简单:
智能且易于使用控制
无污染且不需要处理油:
采用密封结构,实现了无润滑剂真空环境
低拥有 成本:
长维修间隔和低功耗
更快的制程:
出色的蒸汽处理能力
真空泵维修的结构特征以及零部件磨损规律,通常采用以下两类典型的维修方式。
1、事后维修
它是指机械设备发生故障后才进行的维修。它包括查找故障部位、进行修复或更换零部件、调整、验收等一系列技术活动,是一种古老的维修方式,仅适用于安全性、可靠性要求不高的情况。
2、预防维修
预防维修是指机械未发生停机故障或损失之前所进行的维修。随着设备或系统结构的日趋复杂,以及因发生故障所造成的经济损失日益增大,那种只通过事后维修的方法越来越满足不了需要,采用预防维修是不可缺少的。
的舱室抽空时间可减少 总体平均循环时间 (TACT)
仅仅 0.55kW 的功耗 有助于减少客户拥有成本
环保模式可以在空闲 期间多减少 92% 的功耗
35oC 的水 供给有助于降低设备冷却水要求
且极轻, 有助于节省宝贵的工厂空间
适用于严苛应用的大型 iXL 干泵
iXL1000:紧凑型低能量的干 泵,适用于轻负载应用。它提供快速舱室抽空和 极低的功耗。可用于轻负载应用(如晶圆加工、PVD 和 计量)的且安静的泵之一。此产品 在高度成功的 iXL120 泵的基础上构建,具有高抽取速度和 低能耗特性。通过环保模式可在空闲期间降低设备 使用率,从而降低成本并帮助保护环境。
真空泵维修的相关问题。
1,必须先泵浦外观现象是否有破损,如有破损需告知使用单
2,维修之前先了解使用单位,使用制程是什么,以便于后续处理的方式做铺垫
3,维修之前先检查泵浦是什么故障,如果是卡死就不宜通电,以免把电机烧毁
4,如果使用单位也不确定泵浦本身什么故障,维修人员可以拆掉名pai那里,用扳手转动试试,如果能转动证明没有卡死,我们可以通电检查,如果卡死我们维修人员不适宜通电,以免电机烧毁
5,维修之前检查电源部分,在没有确定之前,先问问使用单位电压是多少,有点没有图纸的,就算有图纸也hao根据使用单位的电压为准,确定电压对了,方可通电运转
iXH 干式工业级真空泵系统
iXH 系列干泵产品是 Edwards 的市场 iH 产品的换代升级,为严苛制程能力 树立了新标准,它在世界上的许多 300mm 半导体和平板 工厂内通过提高制程可靠性实现低拥有成本。
可满足 FPD、太阳能、 半导体和 LED 制造业中日益提高的气体流量要求的 大容量干泵和增压泵系列。 除了具有高峰值抽取速度外,这些泵还配备多种特性 以确保在严苛制程中具有可靠性。
iXH 泵采用模块化设计,符合 当今的制程要求,并且对于前沿工厂中不断涌现的应用挑战 有着路线明确的应对计划。
真空泵维修真空泵常规问题修复,就是指在真空泵出现问题后的处理方法。维修问题分为很多,一般未达到报废情况都可以进行修复。既然是的进行修复就不仅仅是简单的拆开、更换耗材再组装起来。真空泵有很多狠心的维修技术,其中主要的就是间隙的调整。不管是真空泵叶片卡死、缸体磨损、真空泵真空度不足、噪音异常都属于一般真空泵维修。如果真空泵出现缸体爆裂、或者其他比较严重的问题时,就得依据损害配件来确定是否可进行维修
泵系列
ES 系列有五种选配型来满足不同要求。 它们可以单独使用,也可以与 EH 系列机械增压泵 (提供从 EH250 到 EH4200 的选配型)配合使用,以便同时提和 极限真空。
ES65
ES100
ES200
ES300
ES630
泵附件
提供一系列附件以 便于控制 ES 泵
油位开关
用于远程监控 油位,以防对泵造成潜在损坏。单独提供或 与 PT100 或 120?C 传感器配合提供。
温度 传感器
用于监控油温的 PT100 和 120?C 温度传感器。
入口 过滤器/入口承接罐
入口过滤器可阻止碎屑进入泵机构,因而可用于大限度地 延长正常运行时间。入口承接罐可保护泵不受大量可冷凝蒸汽 的损害。
以上信息由专业从事E2M175T3真空泵维修的东欧真空于2024/5/17 9:41:22发布
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