爱德华真空泵维修：真空容积，检查确定达到要求的真空度所需要的时间、真空管道的流阻与泄漏。考虑达到要求真空度后在一定工艺要求条件下维持真空需要的抽气速率。
泵系列
Edwards 获得的螺旋转子设计 针对高可用性而设计，它提供的抽取速度，并且是先进的热 管理系统的一部分，可以程度地提高泵性能并延长密封、轴承和 电机的使用寿命，以确保泵具有长的使用寿命。
GXS160
GXS160/1750
GXS250
GXS250/2600
GXS450
GXS450/2600
GXS450/4200
GXS750
GXS750/2600
GXS750/4200
应用
目标应用包括：
负载锁
计量
传输腔
灰化/剥离
PVD
主要特性和优势
占地面积小且重量轻 - 作为可用的 工具上泵之一，EPX 显著节省了 占地面积。铝制构造使其重量轻巧，增加了安装 选项。EPX 可以直接安装到工具上，从而节省了前级管道和 安装成本，如果需要也可远程使用。
受保护的泵机构 - EPX 可以从大气压抽空到 UHV 级基准压力并可在所有入口压力下连续运转。
超清洁机构 - 传统的高真空轴承使用油脂润滑，这可能成为制程 工具中污染源。EPX 泵没有高真空轴承油脂，并且不存在 任何其他的潜在污染源。
非常可靠 - EPX 具有大约 13 年的 MTBFp (SEMI E10)，通常 每 5 年维修一次，地延长了泵的 使用寿命。
运转时的噪声低至 56 dB(A)，可在洁净室内实现低噪声。
对于维修厂家在维修中不但要更需要在厂家库存一些经常会用到的爱德华真空泵维修配件，例如刮片、碳精片、滑片、旋片、石墨片、过滤芯、空滤、风隔等等，这样在维修的过程中便可以快速的对爱德华真空泵产品进行修复。
凡使用我司提供的真空泵耗材在正常使用过程中导致贵司的真空泵故障和异常，我司将免费负责处理和维修，并免费提供机器给客户备用，以确保客户正常生产。
以上信息由专业从事GXS250真空泵维修的东欧真空于2024/5/17 8:07:10发布
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