平时真空泵在工作前工作中及工作结束注意事项基本上跟常规真空泵维修保养一样的了。保持关注真空泵的工作状态,维修一定要及时、迅速,这样真空泵的正常运行才能得到保证。
进口真空泵系列产品,在泵行业的维修项目中对于厂家在日常检查中需要进行针对性的维修类的检查和维护,主要的日常检查项目有检查运行的正常情况以及、真空泵背压值、报警信息察看、手阀状态、机械结构的正常与否、特气管路、管路联接以及有无漏水,这都是需要我们在日常维护检查的时候进行检查,这也是针对这款维修泵维修前的准备事项。
实践证明,Edwards 半导体真空泵能够达到运行标准。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率,同时地减小占地面积、降低运行成本,实现了高的可靠性和性能。
iH 系列为难以执行的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程)提供了高可靠性。
iH80
iH160
iH600
iH1000
iH1800
iH1800HTX
真空泵可以定义为:利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。随着真空应用的发展,真空泵的种类已发展了很多种,其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升。
应用
镀膜
玻璃镀膜 机的负载锁和大型内嵌镀膜机
卷绕镀膜 和粘辊
光学镀膜、 镜片镀膜和显示屏镀膜
表面镀膜,如等离子体沉积和 反射或装饰镀膜
干燥
变压器 干燥
汽车 干燥和填充系统
制冷和空调
电池和电容器干燥
热处理
回火
淬火
退火
真空 钎焊
电子束和等离子焊接
一般工业
EPX 180真空干泵
EPX 系列支持清洁和轻 型半导体加工应用,如灰化/剥离和注入端点 站应用。
EPX 系列以极轻、的 封装提供工具上泵送功能,可实现异常清洁的真空。EPX 泵 采用已获的单轴再生 Holweck? 分级机构, 能够从大气压抽空到小于 7 x 10-7Torr 的极限压力。
EPX 泵能够以模块化组件 提供增强的性能,既可集成到制程工具,又可以远程 安装。此外,通过集成的 MicroTIM 电子模块还可以与制程工具 轻松建立接。
泵系列
EPX180L、LE、N、NE
EPX180 TwinL、LE、N、NE
EPX500L、LE、N、NE
Edwards E2M175/275 系列双级油封旋转叶片真空泵因其限真空、高抽取速度、运行噪音小以及能够处理水蒸汽而享有盛誉。这些直接传动旋转式叶片泵设计紧凑且无振动,配备防伤手风扇和联轴器壳体,可为操作人员提供的保护。这种泵能胜任大多数工作,并且可在其正常运行参数范围内,安全地处理非气体和蒸汽。
应用
真空冶金加工
薄膜覆层技术
制药冷冻干燥
冷冻和空调系统
抽空、干燥和回填
特性和优点
可靠性:
可靠且稳定的制程 - 即使是在高气体负荷下也可提供有效的润滑
稳定:
无制程污染 - 油和空气反吸保护
性能:
长期无故障 - 传动轴杆上安装有工业级滚柱轴承
再保证:
安心 - 经过多年尝试、测试,已经成为工业标准
可靠且稳定 - 高真空性能
泵系列
E2M175
E2M175FX
E2M175T3
E2M275
E2M275T3
以上信息由专业从事ES300真空泵维修公司的东欧真空于2024/5/15 10:23:56发布
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