本着十多年的真空泵维修经验,从中我们也发现了不少关于这方面的问题。有许多消费者可能是真空泵在使用时出现了一些小故障,为了节约成本就会拿去维修,也不管找到的维修商家是否有能力修好该真空泵,只一味的注重价格。其实到后修不好,反而花费的钱更多。
iH 高真空干泵
我们的 iH 干泵为高难度的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品) 提供高度可靠、成本低廉的泵解决方案。iH 系列 具有五级主泵,使用创新的悬臂式转子、爪式和罗茨 设计,可改善粉尘的处理,减少排气噪音。此外,iH 系列泵配有一台单级机械增压泵和完全 封闭的水冷却电机。
应用
负载锁定
转换
计量
平版印刷
PVD 制程
PVD 预清洁
RTA
剥离/灰化
刻蚀
植入源
HDP CVD
RTP
SACVD
MCVD
PECVD
LPCVD
ALD
真空泵有很多狠心的维修技术,其中主要的就是间隙的调整。
真空泵维修解决方法如下:
(1)提供电机正确的电压
(2)将电机启动器过载保护的设定数据与电机铭牌的数据相对照,必要时,请校正。如果环境温度较 高:可将设定值根据正常电机电流提高5%
不管是真空泵叶片卡死、缸体磨损、真空泵真空度不足、噪音异常都属于一般真空泵维修。如果真空泵出现缸体爆裂、或者其他比较严重的问题时,就得依据损害配件来确定是否可进行维修
螺杆真空泵维修5大常见故障问题:
1.真空泵排气口冒烟
2.真空泵不能启动
3.真空泵噪音超标
4.真空度下降
5.真空泵发烫等现象
事后维修
它是指机械设备发生故障后才进行的维修。它包括查找故障部位、进行修复或更换零部件、调整、验收等一系列技术活动,是一种古老的维修方式,仅适用于安全性、可靠性要求不高的情况。真空泵要处于通风位置或者室内装有降温装置也可以,原因也是一样的,只是为了让真空泵的散热性能更好,尽可能的降低真空泵的工作温度。
以上信息由专业从事E2M40T4真空泵维修价格的东欧真空于2024/5/3 7:11:37发布
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