在所有应用产业中,半导体产业对靶材溅射薄膜的品质要求是苛刻的。如今12英寸(300衄口)的硅晶片已制造出来.而互连线的宽度却在减小。硅片制造商对靶材的要求是大尺寸、高纯度、低偏析和细晶粒,这就要求所制造的靶材具有更好的微观结构。靶材的结晶粒子直径和均匀性已被认为是影响薄膜沉积率的关键因素。烧结法:ITO靶材烧结制作法是在以铟锡氧化物共沉淀粉末或氧化铟和氧锡混合粉末为原料,加入粘结剂和分散剂混合后,压力成型,脱脂,然后于1400℃---1600℃烧结。另外,薄膜的纯度与靶材的纯度关系极大,过99.995%(4N5)纯度的铜靶,或许能够满足半导体厂商0.35pm工艺的需求,但是却无法满足如今0.25um的工艺要求。
在铂族金属的应用中,光学玻璃行业是铂的重要的应用领域,铂是制造熔制光学玻璃的坩埚和搅拌器的必选材料,由于光学玻璃的特殊性,提出了对坩埚和搅拌器的更苛刻的适用要求,早在八十年代初期,国内就有人提出了用弥散强化铂来制作坩埚和搅拌器。
21世纪展现良好发展前景的纳米技术,贵金属由于它们的独特优异的物理化学性能,资源的稀缺性以及在已知的传统产业领域的不断扩大应用和在未知领域的不断开拓探索,成为纳米技术早和相当重要的研究对象之一。
王水在溶解了 的溶液中有大量的残余和 硝基物的存在给后续提炼或精炼带来操作困难或失败,严重影响的提炼或精炼工艺顺利进行,严重影响回收率,故王水溶液的浓缩赶硝是紧随溶解其后的务必工序!尤其在铂族金属的精炼中严重影响水解的顺利进行和回收率。
王水溶液的浓缩赶硝故名思议是两段工序,浓缩的目的是将溶液中可在沸腾下挥发的酸和水尽量挥发彻底,以便适合赶硝的药剂和浓度尽量高的无水硝基物或残余快速反应,以达到彻底赶硝的目的。
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