气体质量流量控制器应用领域
气体质量流量控制器用于对气体的质量流量进行精密的测量和控制。其广泛应用于半导体和集成电路工艺、特种材料学科、化学工业、石油工业、环保和真空等多种领域的科研和生产并在其中起着重要的作用。典型的应用场合包括微电子工艺设备，如扩散、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入；以及真空镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、气体取样、毛细管测量、气象色谱仪及其他分析仪器。
气体质量流量控制器显示方式有哪些
1、 分体二次数显仪表。采用按键式的操作方式，测量的精度高，多款外形尺寸可选，双四位的LED显示，支持电流、电压的输入方式，可带多个控制点、多窗口显示，适用于流量等过程量的监测，是一款非常高的产品。
2、 本体触摸按键显示。在流量计本体即可进行流量大小的调节与显示，除了具有精度等级高，线性精度好以外，操作简单、便携也是本产品的一大主要特点。
3、 触摸屏显示操作。这是一种智能化、自动化的操作方式，适合多气路以及产品的集成，一键启动，人机界面，具有灵敏的反应速度、易于交流、坚固耐用、节省空间等优点,是目前便捷、简单、自然的一种人机交互方式,用户只需用手指轻轻一点显示屏上的图标或文字就能操作,给人们的生活带来了很大的方便。
气体质量流量控制器的零点漂移？
微小的零点漂移是不会影响传感器的测量精度和数值的，但是如果是零点漂移较大或用户在使用时，对零点漂移的数值有疑问，那么这时候如何解决漂移显得非常重要。 热式气体质量流量控制器和流量计会有零点漂移情况，零点漂移也就是管道中已经没有介质流动但质量流量计仍显示流量值。如果是零点出现大幅漂移，而且每次漂移差别很大，就需要检查管道内使用有大量的压力或气体残留，需要打开各种阀门，全部排空气体管路，防止设备或管路憋压。
一般造成质量流量计零点漂移的因素有许多，解决质量流量计零漂问题，首先要定期进行零点检查和调整，二是需要和工艺配合来解决。一般情况下，管道压力变化造成介质微量流动也会导致质量流量控制器/质量流量计的零点漂移，出现这种漂移时，要关闭流量控制器或流量计前段的电磁阀（流量控制器不能当做截止阀来使用），使管道内处于完全零流状态或在管道适当位置设置排气口，消除管道内的压力和气流，从而达到消除零点漂移。
以上信息由专业从事空气流量控制器公司的晓韬科技于2024/4/26 8:13:28发布
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