气体质量流量控制器的密封材料如何选择？
质量流量控制器可以用于控制各种气体, 包括腐蚀性气体和特殊气体, 但是要注意, 对于使用腐蚀性气体和特殊气体, 需要恰当选择型号和密封材料。用户在订货时, 需要向供货厂商特殊声明使用气体, 以免因为选型或选择密封材料错误, 造成严重损失。
通常气体质量流量控制器接触工作气体的湿材料为316L不锈钢、聚四氟乙烯和密封材料等, 密封材料又分为金属密封和橡胶密封两大类。金属密封的材料一般为不锈钢、金或镍等耐腐蚀材料。采用金属密封的MFC原则上可以用于任何气体, 包括各种腐蚀性气体和特种气体。对于三氯化硼、HF等强腐蚀性气体和MOCVD使用的金属氧化物气体建议采用金属密封的MFC。
由于金属密封的MFC价格较高, 通常要求不高的场合, 均采用橡胶密封的MFC。如果不特殊声明, MFC都采用氟橡胶密封, 可以用于大多数酸性和碱性腐蚀性气体, 例如可以用于HCl等卤族干燥气体。其它一些特殊腐蚀性气体, 需要采用特种橡胶。氨气——需要采用耐氨橡胶, 如乙丙橡胶、氯丁橡胶或丁晴橡胶; 溶剂汽氛(C3H6O、C6H5CH3等)——需要采用硅橡胶; 三三氯化硼、HF等——需要采用全氟橡胶。
质量流量控制器能用比例阀代替吗？
不可以的，一般我们常说的比例阀就是电磁调节阀，虽然可以起到一定的流量调节作用，但无法做到准确，稳定的流量控制，而气体质量流量控制器（MFC）是在电磁调节阀的基础上增加了控制电路和流量检测传感器和比例分流，是可以实现准确、稳定的流量控制，并且可以将流量信号稳定持续输出成电压信号或电流信号，比例阀根本满足不了MFC能起到的作用。
气体质量流量控制器的零点漂移？
微小的零点漂移是不会影响传感器的测量精度和数值的，但是如果是零点漂移较大或用户在使用时，对零点漂移的数值有疑问，那么这时候如何解决漂移显得非常重要。 热式气体质量流量控制器和流量计会有零点漂移情况，零点漂移也就是管道中已经没有介质流动但质量流量计仍显示流量值。如果是零点出现大幅漂移，而且每次漂移差别很大，就需要检查管道内使用有大量的压力或气体残留，需要打开各种阀门，全部排空气体管路，防止设备或管路憋压。
一般造成质量流量计零点漂移的因素有许多，解决质量流量计零漂问题，首先要定期进行零点检查和调整，二是需要和工艺配合来解决。一般情况下，管道压力变化造成介质微量流动也会导致质量流量控制器/质量流量计的零点漂移，出现这种漂移时，要关闭流量控制器或流量计前段的电磁阀（流量控制器不能当做截止阀来使用），使管道内处于完全零流状态或在管道适当位置设置排气口，消除管道内的压力和气流，从而达到消除零点漂移。
气体质量流量控制器对于气体的要求
1，气体必须洁净且没有颗粒物, 没有液体, 这就要求在MFC/MFM的上游气路中安装干燥器和过滤器。
2，输入的气体压力必须符合产品的耐压标准, 不能超过该产品要求的较大压力。
3、产品的使用气体必须与用户订货选择的密封材料相适应, 用户有责任按照可用的安全规章使用每种气体。不正确的使用产品会使保修无效，还容易产生危险。
以上信息由专业从事质量流量控制器厂家的晓韬科技于2024/5/24 7:39:29发布
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