真空泵变容真空泵
利用泵腔容积的周期性变化来完成吸气和排气过程的一种真空泵，气体在排出前被压缩。这种泵分为往复式及旋片式两种：（1） 往复式真空泵：是利用泵腔内活塞做往复式运动，将气体吸入、压缩并排出。因此，又称为活塞式真空泵。（2） 旋片式真空泵：是利用泵腔内活塞做旋转运动，将气体吸入、压缩并排出。旋转真空泵又有如下几种形式：① 油封式真空泵：它是利用油类密封各运动部件之间的间隙，减少有害空间的一种旋转变容真空泵。这种泵通常带有气镇装置，故又称气镇式真空泵。按其结构特点分为如下五种形式。a旋片式真空泵：转子以一定的偏心距装在泵壳内并与泵壳内表面的固定面靠近，在转子槽内装有两个（或两个以上）旋片，当转子旋转时旋片能沿其径向槽往复滑动且与泵壳内壁始终接触，此旋片随转子一起旋转，可将泵腔分成几个可变容积。b.滑阀式真空泵：在偏心转子外部装有一个滑阀，转子旋转带动滑阀沿泵壳内壁滑动和滚动，滑阀上部的滑阀杆能在可摆动的滑阀导轨中滑动，而泵腔分成两个可变容积。c.定片式真空泵：在泵壳内装有一个与泵内表面靠近的偏心转子，泵壳上装有一个始终与转子表面接触的径向滑片，当转子旋转时，滑片能上下滑动将泵腔分成两个可变容积。d.余摆线式真空泵：在泵腔内偏心装有一个型线为余摆线的转子，它沿泵腔内壁转动并将泵腔分成两个可变容积。e.多室旋片式真空泵：在一个泵壳内并联装有由同一个电动机驱动的多个独立工作室的旋片真空泵。
真空泵分子泵
分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵，尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速，国外在分子泵的入口侧装一个-130℃～-150℃的低温冷板，称之为低温分子泵，水蒸气被低温板捕获，其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用，既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着中国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展，分子泵应该是中国真空泵制造业发展的重点。首先，分子泵要从小到大建立完整系列，以满足不同场合的需要。
真空泵供水量不足的调节方法
水环式真空泵启动后，在整个过程中连续供水，使其压力平衡，并有足够的水。由于真空泵的供水量有一定的范围，为了获得标准的供水量，可以按照程序调节供水阀。水环真空泵正常运行后，适当打开供水阀，观察入口真空计的压力。慢慢关闭小供水阀的开度。当真空表指针开始波动或下降时，供水量不足。慢慢打开供水阀。当真空表指针再次稳定时，供水量为标准供水。当水环式真空泵供水不足时，设备的抽气能力下降，工作不稳定。当供水过多时，会造成水资源浪费，增加泵的轴功率，甚至烧坏电机。水环真空泵的供水量可以调节，我们只需要按照上述方法进行调节，在使用过程中必须做好供水阀的操作。必须正确调整设备的供水量，提高设备的效率。
真空泵
真空泵是一种用于产生、改善和维持真空的装置，广泛应用于各种工业和科学实验中。它主要利用机械原理或其他方法将容器内的气体排出或吸收，以达到预期的低压状态。
常见的类型有旋片式、液环式和分子筛等几种：1.旋片式结构简单但效率很高；2.液环式的特点是能在高湿度或大修的条件下工作稳定;3。分子筛则适用于需要超高压强的场合。选择哪种类型的真空泵主要取决于具体的应用场景和需求条件。
使用和维护时需要注意以下几点:首先,应定期检查泵的密封性能和油位高度以确保其正常工作；其次,在操作过程中应避免过载以防止设备损坏;要遵循制造商的推荐进行保养如更换润滑油和调整皮带张力等来延长使用寿命和提高稳定性。总之作为一种重要的通用机械设备掌握好与之相关的知识对于确保生产科研活动的顺利进行具有重要意义。
以上信息由专业从事螺杆真空泵供应商的凯德金科技于2024/5/22 9:49:06发布
转载请注明来源：http://www.zhizhuke.cn/qyzx/bjkdjgs-2756910271.html
