喷淋式兆声喷头
单点喷淋式兆声清洗，无二次污染问题超高频超声波，频率可达3MHz清洗精度高，可去除0.2微米的污渍颗粒超低的声空化效应，不损伤器件表面无金属材质接触液体，无导电物质脱落风险腐性，可耐各种酸碱溶液及。
喷淋式兆声喷头是将兆声换能器嵌入到喷嘴中，以喷嘴的形式对被清洗物如晶圆等进行清洗。它的优势在于可点对点的直接对被清洗物表面进行处理，可让声能焦点直接处于被清洗物表面，然后再通过运动来实现整个二维平面的清洗。这种方式相比于槽式兆声清洗，其兆声转换效率更高，并且避免了槽式兆声清洗中声场强度随水槽液体深度变化而变化的问题，使被清洗物如晶圆表面获得的声能更均匀。另外，由于是喷嘴喷淋的方式，也不会发生像槽式清洗中水槽中的残留的脏污对被清洗物造成二次污染的问题。
喷淋式兆声喷头产品概述
兆声清洗是利用兆赫兹级别的超高频超声波能量去进行基材表面亚微米级颗粒的去除以及化学反应。相比于低频超声波空化效应，兆声波空化效应可清楚更小的颗粒并且大幅降低对基材的损伤。东方金荣提供多种类型的兆声系统以用于CMP化学机械抛光、键合前清洗、掩膜清洗、显影、去胶、金属剥离、湿法刻蚀等多种领域。 Siansonic（东方金荣）喷淋式兆声清洗喷头的特点及优势单点喷淋式兆声清洗，相比传统槽式清洗，可解决清洗液二次污染问题。极低的超声空化效应，不会对器件表面造成损伤超高清洗精度，可去除物体表面0.2微米的污渍颗粒非金属腐材质，适应各种酸碱及石英或蓝宝石匹配层技术，无杂质脱落到器件上的风险的换能器贴合技术，更高的稳定性和耐久性
第三代半导体技术的兆声发生器，实现数字化高频大功率驱动。
贴合式兆声清洗头的特点
兆声波清洗不仅保存了超声波清洗的优点，而且克服了它的不足。在清洗时，由换能器发出波长为1μm频率为0.8兆赫的高能声波。溶液分子在这种声波的推动下作加速运动，大瞬时速度可达到30cm/s。因此，形成不了超声波清洗那样的气泡,而只能以高速的流体波连续冲击晶片表面,使硅片表面附着的污染物的细小微粒被强制除去并进入到清洗液中。兆声波清洗抛光片可去掉晶片表面上小于0.2μm的粒子,起到超声波起不到的作用。这种方法能同时起到机械擦片和化学清洗两种方法的作用。兆声波清洗方法已成为抛光片清洗的一种有效方法。
超声波清洗原理
超声波是一种频率超出人类听觉范围20 kHz以上的声波。超声波的传播要依靠弹性介质，其传播时,使弹性介质中的粒子振荡,并通过介质按超声波的传播方向传递能量,这种波可分为纵向波和横向波。在固体内,两者都可以传送,而在气体和液体内,只有纵向波可以传送。超声波能够引起质点振动,质点振动的加速度与超声频率的平方成正比。因此,几十千赫兹的超声会产生极大的作用力,强超声波在液体中传播时,由于非线性作用,会产生声空化。在空化气泡突然闭合时发出的冲击波可在其周围产生上千个大气压力,对污层的直接反复冲击,一方面破坏污物与清洗件表面的吸附,另一方面也会引起污物层的破坏而脱离清洗件表面并使它们分散到清洗液中。气泡的振动也能对固体表面进行擦洗。气泡还能“钻入”裂缝中做振动,使污物脱落。对于有油脂性污物,由于超声空化作用,两种液体在界面迅速分散而乳化,当固体粒子被油污裹着而粘附在清洗件表面时,油被乳化,固体粒子即脱落。空化气泡在振动过程中会使液体本身产生环流,即所谓声流。他可使振动气泡表面存在很高的速度梯度和粘滞应力,促使清洗件表面污物的破坏和脱落,超声空化在固体和液体表面上所产生的高速微射流能够除去或削弱边界污层,腐蚀固体表面,增加搅拌作用,加速可溶性污物的溶解,强化化学清洗剂的清洗作用。此外,超声振动在清洗液中引起质点很大的振动速度和加速度,亦使清洗件表面的污物受到频繁而激烈的冲击。
以上信息由专业从事兆声波清洗设备价格的东方金荣超声Siansonic于2024/5/8 8:53:55发布
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