试验室供气需求
目前大多数试验室中的各种分析仪器如气相色谱仪、气相色谱质谱仪、液相色谱质谱仪、原子吸收分光光度计、原子荧光光度计、等离子发射光谱仪、电感耦合等离子质谱仪等都需要连续使用高纯载气和燃气，因此试验室的安全、连续、稳定运行需要我们考虑如何将这些气体供到各试验室中放置的分析仪器。05m的微粒，因此对高纯气体的输送管路系统提出了非常高的要求。
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高纯气体的输送管路系统
随着微电子工业的发展，超大规模集成电路制造的硅片尺寸越做越大，要求半导体制造工艺中的气体品质相应越来越高，对气体中杂质和露1点要求极为严格，需要达到ppb、ppt级，尘埃粒径求控制小于0.1～0.05m的微粒，因此对高纯气体的输送管路系统提出了非常高的要求 。因为气瓶间是相对独立的，整个气路系统压力1大的地方也是气瓶出口处，因此这种方式将气瓶压力可能发生的危险缩小至气瓶间内，可对人体及仪器的伤害可降到1低。
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高纯供气系统
本公司生产的RZ-YA-D系列全自动气纯化装置功能说明：
A、具有全自动功能,使用操作简单，开、停机只需按两个按钮，不需扭动任何阀门，这些工作都由PLC程序自动进行；这还克服了手动和半自动机型因人为操作失误引起的气体不纯，因此纯气质量也更加稳定。
B、控制文本显示器采用合资品牌-昆仑通泰7吋液晶触摸屏，实时模拟显示工作流程状态和各种参数显示，并随时可以实现各参数的修正，极大的方便工作人员的操作。
C、可根据用户需要配备在线分析仪，时时在线监测。
高纯供气系统
高纯氮气纯化装置以深冷法制氮、PSA变压吸附制氮，氮膜分离制氮的普通氮气为原料，经过加氢催化除氧，冷凝、吸附二级干燥，过滤，除去氮气中的杂质氧、二氧化碳、水份和尘埃，获得高纯度的氮气。氦检漏发现的泄漏点经修补后，应重新经过气密性试验，合格后再按规定进行氦检漏。用户对纯氮中的含氢量有特殊要求时，我们可以通过工艺手段来控制氮气中的氢气含量。若原料氮的氧含量超过0.1%时，则可用加氢除氧和除氢的方式来获得无氢高纯氮，若原料氮的氧含量小于0.1％，则采用化学除氧工艺方法。
以上信息由专业从事高纯供气公司的艾明坷于2024/5/10 6:26:10发布
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