氧气是无毒的，它是人类和动植物生存必需的物质之一。氧气是地球上常见的元素之一，占地球大气的约21％。在正常生理条件下，氧气是人体细胞呼吸和氧化过程中所必需的物质，也是维持人体生命所必需的元素之一。然而，高浓度的氧气可能会对健康产生影响。在高压环境下，如深海或太空环境，高浓度的氧气可能会导致氧，这是一种由于肺部过度吸收氧气而引起的疾病，可能导致呼吸困难、甚至。此外，长期暴露在氧气浓度过高的环境中也可能会对健康产生影响，如增加患的风险、损害系统等。因此，在正常情况下，氧气对人体有益无害，但在特定情况下，高浓度的氧气可能会对健康产生影响。
超高纯气体是指在空气含量上，氧气低于2.8%，氢气在30Pa以下。其主要应用于电子、光学与食品工业制作领域，尤其是半导体行业不可缺少的原料。主要用于各种高精度和高可靠性的电子产品中作为生产和高质量的产品测试材料,以保证元器件的高可靠性及成品板卡的无缺陷率;的光电器件、印刷电路版生产工艺中使用;在激光技术中也用作光敏三极管的曝光剂等；还可用于超深海潜水器的研究,因为这些设备需要在高压下工作且不会发生减压病危险；同时它也广泛应用于航天工程人造对地观测系统中作关键性特种用途如：用于红外/紫外探测管外腔中的保护气氛等方面.
高纯氮气是无毒的。高纯氮气是一种无色、无味、无毒的气体，分子量为28.0134，在常温常压下是一种极烧的气体。在工业上，高纯氮气通常是由空气分离或合成法制取，并广泛用于电子工业、玻璃制造、食品加工、手术、工业除臭、工业清洗等领域。高纯氮气在医学上常用于“洗肺”，可以降低吸入性窒息的率，还常用于制作缺氧的吸入剂，可以减少吸入有害气体对身体的危害。在工业上，高纯氮气常用于深海置换空气，以便工人进行水下作业。此外，高纯氮气还可以作为保护气体，用来保护金属、食品等不受氧化和腐蚀。总之，高纯氮气是一种无毒的气体，广泛用于工业、医学和各种领域。但在使用时，需要注意安全措施，避免高浓度氮气对环境和人体造成影响。
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