氦质谱检漏法由于其高的灵敏度、方法的多样性、对各种试件的适应性以及无破坏性，使其广泛应用。氦质谱检漏设备应在施工工作完成后进行本测试，测试完成后不得进行焊缝的修磨等。若设备被浸湿或有残余的液体都会影响毛细管的泄漏而影响测试结果的真实性。氦质谱检漏仪是用示踪气体氦气的专门用于检漏的仪器，它性能稳定，灵敏度高，是真空检漏技术中较成熟的设备，使用比较普遍的检漏仪。为工厂作业人员的安全以及环境保护，氦质谱检漏仪成为化工管道检漏的的选择。
质谱室里的灯丝发射出来的电子，在室内来回地振荡，并与室内气体和经漏孔进入室内的氦气相互碰撞使其电离成正离子，这些氦离子在加速电场作用下进入磁场，由于洛伦兹力作用产生偏转，形成圆弧形轨道，改变加速电压可使不同质量的离子通过磁场和接收缝到达接收极而被检测。将这种气体喷到接有气体分析仪（调整到仅对氦气反应的工作状态）的被检容器上，若容器有漏孔，则分析仪即有所反应，从而可知漏孔所在及漏气量大小。氦气检漏仪特有的清氦系统，快速有效地清除超标的氦本底，保证检测的稳定性和准确性；实时监测氦气压力和浓度，保证了工件检测的精度；
氦质谱检漏仪是如何工作的?氦质谱检漏仪由离子源、分析器、、真空系统、电子线路及其他电气部分组成。为了方便解释氦质谱检漏仪是如何工作的,我们以磁偏转型的氦质谱检漏仪为例进行说明。在质谱室的离子源N内，气体被电离成离子。在电场作用下离子聚焦成東，并以-定的速度经由缝隙S1进入磁分析器，在均匀磁场的作用下，具有-定速度的离子束，将按圆形轨迹运动。调节加速电压U使氦离子束M z恰能通过缝隙S2到达收集极K而形成离子流。利用弱电流量测设备，使之在输出仪表与音响装置上反映出来。而其他不同于M2的离子束则以不同的偏转半径而被分开。
实验程序中明确规定了密封继电器的检漏条件及步骤，本次主要讨论背压法检漏属于检漏步骤中的细检漏。继电器的背压检漏法一般分为三步: 1加氦压:将被检继电器放入充氦的压力罐中; 2净化:从压力罐中取出继电器，用氮气流或者空气流吹净继电器表面吸附的氦气。3检漏:将继电器放入检漏仪的检漏盒中进行检测，若继电器有漏，压入内腔的氦气会经过漏孔进入检漏仪，仪器上会有漏率显示。
以上信息由专业从事电力行业检漏公司的安徽伽德罗于2025/6/30 6:37:37发布
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